Fotolitografi işleminde UV sertleştirme parametrelerinin deney tasarımı ile eniyilenmesi


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Kocaeli Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Endüstri Mühendisliği Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2014

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: FATMA GÖZDE AYTEKİN

Danışman: Kasım Baynal