Conversion efficiency calculations for soft x-rays emitted from tin plasma for lithography applications


DEMİR P., Demir P., KAÇAR E., Bilikmen S., DEMİR A.

11th International Conference on X-Ray Lasers, 2008, Belfast, Birleşik Krallık, 17 - 22 Ağustos 2008, cilt.130, ss.281-287 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası: 130
  • Doi Numarası: 10.1007/978-1-4020-9924-3_32
  • Basıldığı Şehir: Belfast
  • Basıldığı Ülke: Birleşik Krallık
  • Sayfa Sayıları: ss.281-287
  • Kocaeli Üniversitesi Adresli: Evet