Conversion efficiency calculations for soft x-rays emitted from tin plasma for lithography applications

DEMİR P., Demir P., KAÇAR E., Bilikmen S., DEMİR A.

11th International Conference on X-Ray Lasers, 2008, Belfast, Birleşik Krallık, 17 - 22 Ağustos 2008, cilt.130, ss.281-287, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Cilt numarası: 130
• Doi Numarası: 10.1007/978-1-4020-9924-3_32
• Basıldığı Şehir: Belfast
• Basıldığı Ülke: Birleşik Krallık
• Sayfa Sayıları: ss.281-287
• Kocaeli Üniversitesi Adresli: Evet